Micro-Nano Manufacturing and Micro-Electro-Mechanical Systems
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Micro-Nano Manufacturing and Micro-Electro-Mechanical Systems
Liu, Chong; Li, Jingmin; Wang, Liding
Springer Verlag, Singapore
04/2026
349
Dura
Inglês
9789819547579
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1. Overview of micro electro mechanical systems (MEMS).- 2. Bulk silicon microprocessing technology.- 3. Surface micromachining technology.- 4. Example of silicon micromachining process.- 5. LIGA/quasi-LIGA technology.
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Micro-nano Manufacturing;Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS);Silicon Microprocessing Technology;LIGA/quasi-LIGA Technology;Micro-nano Device
1. Overview of micro electro mechanical systems (MEMS).- 2. Bulk silicon microprocessing technology.- 3. Surface micromachining technology.- 4. Example of silicon micromachining process.- 5. LIGA/quasi-LIGA technology.
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