Diagnostik an HiPIMS-Magnetronsputterplasmen
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Diagnostik an HiPIMS-Magnetronsputterplasmen
Adam, Caroline
Springer Fachmedien Wiesbaden
03/2026
96
Mole
Alemão
9783658505899
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Plasmaphysik;Materialwissenschaft;Plasmadiagnostik;Duennschichtabscheidung;Sputtern;PVD
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