Advanced Measurement, Imaging, and Instruments
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Advanced Measurement, Imaging, and Instruments
Selected Papers from ISMTII / ICOIM 2025
Zhu, Jinlong; Yang, Shuming; Liu, Shiyuan
Springer Verlag, Singapore
04/2026
Dura
Inglês
9789819581450
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Optical metrology;Optical imaging;Nanometrology;Intelligent systems;Process control
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